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            同納水源 | 同菁環境

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            • 半導體

            半導體

            穩定的超純水 (UPW) 制備對微電子制造至關重要。同納采用多項獨創技術工藝保證TOC、超微顆粒物、半導體元素硅和硼的高效去除,為生產線提供優質的超純水。同時在提高水的利用率、節省用電能耗、提高關鍵設備(反滲透膜、EDI、拋光樹脂)的使用壽命方面具有國際領先的技術能力。

            • 穩定的超純水制備和監測

              同納為要求嚴苛的半導體生產線提供穩定、高效、節能的超純水 (UPW) 和回收/循環成套系統。同納專注于關鍵微電子制造領域對超純水水質的極高要求,對紫外TOC去除器的設計選型及安裝方式、顆粒物過濾器及濾芯的選材及潔凈等級、拋光樹脂床的運行及沖洗方式等都進行十分科學的計算及配置。同時在供水端設置嚴格的監測及自動控制,確保優質的超純水進入生產線。生產線產生的各種沖洗廢水全部收集后,再采用同納自主設計并已在多家大型微電子企業成功運行的廢水回收處理系統處理后,重新處理成純水或超純水供給生產車間,水的總利用率達到95%以上,為相關企業帶來了顯著的經濟和環境效益。

            • 我們可以為您做好

              適用于化學機械拋光、晶片拋光、清潔漂洗、切割和研磨等的所有超純水 (UPW)

              來自海水或苦咸水水源的超純水 (UPW)

              通過廢水處理減少重金屬、廢酸、顆粒物和有機化合物含量

              水回收和回用系統

              節能計劃

              用于超純水 (UPW) 和回收水的大量程靈敏的總有機碳TOC分析儀

              用于硼/二氧化硅控制的超純水 (UPW) 含量分析儀;超微顆粒物含量在線分析儀等

            • 解決方法

              使用美國GE/HACH 的總有機碳 (TOC) 分析儀進行控制

              微電子和半導體制造商對超純水中總有機碳 (TOC)要求十分嚴格,配置的在線TOC分析儀在靈敏度、穩定性方面完全滿足控制要求。

              滿足您的所有超純水(UPW)需求

              同納擁有教授領銜的技術團隊,完全根據源水或回收水的水質以及您對超純水水質的技術要求進行量身設計,滿足您各方面的技術及商務需求。

              在純水生產過程中使用RO膜、電去離子 (EDI)、拋光樹脂

              超低壓節能RO膜、一對一的電源及產水控制EDI、串/并聯可切換的拋光混床安裝方式保證滿足您的節能、穩定、高效的技術要求。

            應用技術

            • 1、優化的技術工藝和嚴格的自動控制

              超純水制備包括預處理、雙級反滲透、EDI脫鹽、拋光混床處理等主要工藝流程,前道工藝的處理效率直接影響后續工藝及最終產水水質

              同納通過對每步工藝設備運行參數的反復計算,再將各步工藝組合后進行優化,使得所有前道工藝的水質、水量、壓力等參數完全適合后道工藝的最佳需求。既保證了最終為生產線提供優質的超純水,又使得所有關鍵設備處于合適的運行條件,提高了設備的使用壽命,降低了運行能耗。

              每道主要工藝的產水都設置在線監測儀表及自動控制閥

              只有當產水技術參數滿足后續設備的技術要求時,自動閥才會允許其進入后道工藝,否則會自動返回前道工藝重新處理,并進行報警提示。

              同納設計和推出了一套優化的超純水制備工藝,通過自動控制為生產線供應優質超純水。所有關鍵設備都能處于最佳的運行狀態,運行穩定、延長壽命、降低成本,提高純水系統的投資回報率,并確保生產線供水安全、穩定。

            • 2、廢水的回收利用和源水利用率的提高

              超純水在微電子或半導體生產線使用后的廢水中主要含有與生產線工藝相關的雜質,采用同納的回收水處理工藝后得到的水質會優于普通市政自來水

              超純水用于生產線沖洗后的廢水除含有重金屬離子、懸浮硅粉、少量表面活性劑等污染物外,其它雜質含量極低。同納采用獨創的廢水回收處理工藝,主要針對上述污染物進行高效去除,產水的電導率一般小于150μS/cm,遠低于市政自來水的電導率。

              一級反滲透濃水用于超濾反沖洗

              一級反滲透系統的濃水是超純水制備過程中影響水利用率的最大因素,同納會將一級反滲透濃水全部收集后用于超濾或砂、碳濾的反沖洗用水,其余用于衛生間沖洗、綠化澆灌等。

              我們能幫助您實現:

              生產線廢水95%以上實現回收利用,節省了水資源、降低了排放污染

              為企業帶來了顯著的經濟效益

              實現了綠色GDP,為人類賴以生存的地球村做了貢獻

            相關工工程經歷

            達邇科技(上海)有限公司晶片切割及研磨廢水(水量 25m3/h,回用率≥95%)回用處理項目

            樂山-菲尼克斯半導體有限公司龍工程項目電鍍及高壓沖洗廢水(水量 30m3/h,回用率≥ 90%)回用處理系統

            成都先進功率半導體股份有限公司電鍍及高壓沖洗廢水(水量 50m3/h,回用率≥90%)回 用處理系

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